具週邊第一及第二階段陣列之低溫泵
Номер патента: TW201930722A
Опубликовано: 01-08-2019
Автор(ы): 保羅 曼霍尼, 吉列德 珊瑞克, 艾倫 伯特列
Принадлежит: 美商布魯克斯自動機械公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-08-2019
Автор(ы): 保羅 曼霍尼, 吉列德 珊瑞克, 艾倫 伯特列
Принадлежит: 美商布魯克斯自動機械公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Cryopump with peripheral first and second stage arrays
Номер патента: US20200284245A1. Автор: Paul K. MAHONEY,Allen J. Bartlett,Gerald M. SZAREK. Владелец: Edwards Vacuum LLC. Дата публикации: 2020-09-10.