Electromechanical microstructure for e.g. acceleration sensor, has movable elements connected with substrate and with area made of partially monocrystalline silicon, and spring with area made of partially polycrystalline silicon
Номер патента: DE102009026639A1
Опубликовано: 09-12-2010
Автор(ы): Barbara Will, Jochen Reinmuth, Juergen Butz
Принадлежит: ROBERT BOSCH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-12-2010
Автор(ы): Barbara Will, Jochen Reinmuth, Juergen Butz
Принадлежит: ROBERT BOSCH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Micro-mechanical sensor device i.e. acceleration sensor, for measuring e.g. acceleration, for electronic stability program, has control unit controlling application unit i.e. electrodes, such that mass is applied with supplementary force
Номер патента: DE102010030878A1. Автор: Reinhard Neul,Axel Franke,Alexander Buhmann,Manuel Engesser. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2012-01-05.