辐射敏感的树脂组成物、固化树脂图案与液晶显示器
Номер патента: CN1716095B
Опубликовано: 18-05-2011
Автор(ы): 武部和男
Принадлежит: Sumitomo Chemical Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-05-2011
Автор(ы): 武部和男
Принадлежит: Sumitomo Chemical Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Actinic light-sensitive or radiation-sensitive resin composition, resist film, pattern formation method, and electronic device manufacturing method
Номер патента: EP3919981A1. Автор: Kei Yamamoto,Minoru Uemura,Akiyoshi Goto,Masafumi KOJIMA,Keiyu OU,Yasuharu SHIRAISHI. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2021-12-08.