Capacitance type pressure gauge assembly
Номер патента: JP6063540B2
Опубликовано: 18-01-2017
Автор(ы): ブランケンシップ,スティーヴン,ディー., ルーカス,ポール,ディー.
Принадлежит: MKS Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-01-2017
Автор(ы): ブランケンシップ,スティーヴン,ディー., ルーカス,ポール,ディー.
Принадлежит: MKS Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Capacitance type sensor including detection and fixed capacitors
Номер патента: US10514313B2. Автор: Hiroshi Takakura. Владелец: Horiba Stec Co Ltd. Дата публикации: 2019-12-24.