Adhesive joint between optical element e.g. mirror and support
Номер патента: GB2295029A
Опубликовано: 15-05-1996
Автор(ы): Franck Normand, Pascal Saunier, Patrick Verrecchia, Vincent Vilbois
Принадлежит: Thomson CSF SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-05-1996
Автор(ы): Franck Normand, Pascal Saunier, Patrick Verrecchia, Vincent Vilbois
Принадлежит: Thomson CSF SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Variable stopper for optic element e.g. mirror used in projection exposure system, has stopper element that is provided to limit movement path of optical element
Номер патента: DE102011087389A1. Автор: Boris Bittner,Stefan Hembacher. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2012-07-19.