Method and system for controlling a flow ratio controller using feedback
Номер патента: WO2014210057A1
Опубликовано: 31-12-2014
Автор(ы): Mariusch Gregor
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-12-2014
Автор(ы): Mariusch Gregor
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Fluid Distribution Systems, And Systems And Methods For Controlling Same
Номер патента: US20240061450A1. Автор: William Weiss,Kevin Doyle. Владелец: Hayward Industries Inc. Дата публикации: 2024-02-22.