Apparatus and method of detecting probe tip contact with a surface
Номер патента: WO2006050494A3
Опубликовано: 14-12-2006
Автор(ы): Lyudmila Zaykova-Feldman, Thomas M Moore
Принадлежит: Lyudmila Zaykova-Feldman, Omniprobe Inc, Thomas M Moore
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-12-2006
Автор(ы): Lyudmila Zaykova-Feldman, Thomas M Moore
Принадлежит: Lyudmila Zaykova-Feldman, Omniprobe Inc, Thomas M Moore
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Multi charged particle beam apparatus, and shape adjustment method of multi charged particle beam image
Номер патента: US9966228B2. Автор: Osamu Iizuka. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-05-08.