Compositions and methods of use for forming titanium-containing thin films
Номер патента: TW201111390A
Опубликовано: 01-04-2011
Автор(ы): Andrew Kingsley, Peter Nicholas Heys, Rajesh Odedra
Принадлежит: Sigma Aldrich Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-04-2011
Автор(ы): Andrew Kingsley, Peter Nicholas Heys, Rajesh Odedra
Принадлежит: Sigma Aldrich Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Compositions and methods of use for forming titanium-containing thin films
Номер патента: US20120178266A1. Автор: Peter Nicholas Heys,Rajesh Odedra,Andrew Kingsley. Владелец: Sigma Aldrich Co LLC. Дата публикации: 2012-07-12.