SELF-NEUTRALIZED RADIO FREQUENCY PLASMA ION SOURCE
Номер патента: US20190108978A1
Опубликовано: 11-04-2019
Автор(ы): Konopka David, Outten Craig A.
Принадлежит: Denton Vacuum, LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-04-2019
Автор(ы): Konopka David, Outten Craig A.
Принадлежит: Denton Vacuum, LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Self-neutralized radio frequency plasma ion source
Номер патента: US20190108978A1. Автор: Craig A. Outten,David Konopka. Владелец: Denton Vacuum LLC. Дата публикации: 2019-04-11.