蒸発器、堆積アレンジメント、堆積装置及びこれらを操作する方法
Номер патента: JP2019007082A
Опубликовано: 17-01-2019
Автор(ы): Bangert Stefan, KELLER Stefan, KWAK Byung-Sung Leo, Manuel Dieguez-Campo Jose, Schuesler Uwe, ウーヴェ シュースラー,, シュテファン ケラー,, シュテファン バンゲルト,, ビョン−ソン, レオ クワック
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-01-2019
Автор(ы): Bangert Stefan, KELLER Stefan, KWAK Byung-Sung Leo, Manuel Dieguez-Campo Jose, Schuesler Uwe, ウーヴェ シュースラー,, シュテファン ケラー,, シュテファン バンゲルト,, ビョン−ソン, レオ クワック
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
DEPOSITION APPARATUS, VACUUM SYSTEM, AND METHOD OF OPERATING A DEPOSITION APPARATUS
Номер патента: US20200227637A1. Автор: Heimel Oliver,ZANG Sebastian Gunther,SAUER Andreas. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-07-16.