METHOD FOR SEALING AN ACCESS OPENING TO A CAVITY AND MEMS COMPONENT COMPRISING A SEALING ELEMENT
Номер патента: US20190112182A1
Опубликовано: 18-04-2019
Автор(ы): Dehe Alfons, Hoeckele Uwe, Metzger-Brueckl Gerhard, Strasser Johann, Walther Arnaud
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-04-2019
Автор(ы): Dehe Alfons, Hoeckele Uwe, Metzger-Brueckl Gerhard, Strasser Johann, Walther Arnaud
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for detecting an obstacle in an access device
Номер патента: US12099336B2. Автор: Guido Bachmann,Daniel Andler. Владелец: Gebrueder Bode GmbH and Co KG. Дата публикации: 2024-09-24.