A high-efficiency spectral purity filter for euv lithography
Номер патента: WO2005119365A3
Опубликовано: 02-03-2006
Автор(ы): Henry N Chapman
Принадлежит: Henry N Chapman, Univ California
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-03-2006
Автор(ы): Henry N Chapman
Принадлежит: Henry N Chapman, Univ California
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
A high-efficiency spectral purity filter for euv lithography
Номер патента: WO2005119365A2. Автор: Henry N. Chapman. Владелец: The Regents of the University of California. Дата публикации: 2005-12-15.