Wet processing of microelectronic substrates with controlled mixing of fluids proximal to substrate surfaces
Номер патента: US20230352321A1
Опубликовано: 02-11-2023
Автор(ы): David P. DeKraker, Jeffery W. Butterbaugh, Thomas J. Wagener
Принадлежит: TEL FSI Inc, Tel Manufacturing and Engineering of America Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-11-2023
Автор(ы): David P. DeKraker, Jeffery W. Butterbaugh, Thomas J. Wagener
Принадлежит: TEL FSI Inc, Tel Manufacturing and Engineering of America Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for mitigating cross-contamination between liquid dispensing jets in close proximity to a surface
Номер патента: EP1440459A2. Автор: Andrew Nguyen. Владелец: ASML US Inc. Дата публикации: 2004-07-28.