Apparatus and method for processing substrate
Номер патента: US20230352275A1
Опубликовано: 02-11-2023
Автор(ы): Hyun Soo Kim, Jae Hoo Lee, Min Sung HAN, Seong Hak BAE, Wan Jae Park, Yoon Jong JU
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-11-2023
Автор(ы): Hyun Soo Kim, Jae Hoo Lee, Min Sung HAN, Seong Hak BAE, Wan Jae Park, Yoon Jong JU
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
X-ray reference object, x-ray detector, additive manufacturing apparatus and method for calibrating the same
Номер патента: US20220143709A1. Автор: Christian Ekberg. Владелец: ARCAM AB. Дата публикации: 2022-05-12.