System and method for generating care areas for defect inspection
Номер патента: SG193753A1
Опубликовано: 30-10-2013
Автор(ы): Fang Hong Gn, Hun Chow LEE, Seng-Keong Victor Lim, Shyue Fong Quek
Принадлежит: Globalfoundries Sg Pte Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-10-2013
Автор(ы): Fang Hong Gn, Hun Chow LEE, Seng-Keong Victor Lim, Shyue Fong Quek
Принадлежит: Globalfoundries Sg Pte Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Stage system and stage driving method for use in exposure apparatus
Номер патента: EP1965411A3. Автор: Nobushige Korenaga,Ryuichi Ebinuma. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-08-08.