Position adjusting unit of optical element and maskless exposure apparatus including the same
Номер патента: US20180164687A1
Опубликовано: 14-06-2018
Автор(ы): Sang Don Jang, Sang Woo Bae, Tae-hyun Kim
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-06-2018
Автор(ы): Sang Don Jang, Sang Woo Bae, Tae-hyun Kim
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Illumination optical system, exposure apparatus, optical element and manufacturing method thereof, and device manufacturing method
Номер патента: US9366970B2. Автор: Osamu Tanitsu. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-06-14.