APPARATUS AND METHOD FOR DYNAMIC CONTROL OF PLATED UNIFORMITY WITH THE USE OF REMOTE ELECTRIC CURRENT
Номер патента: US20160215408A1
Опубликовано: 28-07-2016
Автор(ы): Berke Aaron, Buckalew Bryan L., Chua Lee Peng, Fortner James Isaac, Kagajwala Burhanuddin, Mayer Steven T., Rash Robert
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-07-2016
Автор(ы): Berke Aaron, Buckalew Bryan L., Chua Lee Peng, Fortner James Isaac, Kagajwala Burhanuddin, Mayer Steven T., Rash Robert
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film formation apparatus and film formation method for forming metal film
Номер патента: US09677185B2. Автор: Hiroshi Yanagimoto,Yuki Sato,Motoki Hiraoka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2017-06-13.