CAPACITIVE PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
Номер патента: US20190219469A1
Опубликовано: 18-07-2019
Автор(ы): Lemke Benjamin, Lopatin Sergej, Nommensen Peter, Teipen Rafael
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-07-2019
Автор(ы): Lemke Benjamin, Lopatin Sergej, Nommensen Peter, Teipen Rafael
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Microelectromechanical capacitive pressure sensor having a valve portion being operable to close first output and open second output to equalize pressure
Номер патента: US11767218B2. Автор: Tapio PERNU,Jaakko Saarilahti,Jukka Kyynäräinen. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2023-09-26.