Vorrichtung und Verfahren zur Filtration eines Kühlschmiermittels, Bearbeitungseinrichtung sowie Lithografiesystem
Номер патента: DE102024200329A1
Опубликовано: 08-05-2024
Автор(ы): Carsten Schluesener, Michael Wiesinger
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-05-2024
Автор(ы): Carsten Schluesener, Michael Wiesinger
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Vorrichtung und Verfahren zur Kompensation von Pendelkräften
Номер патента: DE102023116893A1. Автор: Ulrich Schoenhoff,Sönke Rhein. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-07-04.