Source/Drain Contact Structure
Номер патента: US20210366907A1
Опубликовано: 25-11-2021
Автор(ы): CHEN Hou-Yu, Cheng Chun-Fu, HUANG Yu-Xuan, Lee Wei Ju, Liao Yi-Bo
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-11-2021
Автор(ы): CHEN Hou-Yu, Cheng Chun-Fu, HUANG Yu-Xuan, Lee Wei Ju, Liao Yi-Bo
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Transistor Source/Drain Contacts and Methods of Forming the Same
Номер патента: US20230261069A1. Автор: Yee-Chia Yeo,Huicheng Chang,Su-Hao LIU,Meng-Han Chou,Yi-Syuan Siao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.