Epitaxial source/drain contacts self-aligned to gates for deposited fet channels
Номер патента: GB201209073D0
Опубликовано: 04-07-2012
Автор(ы):
Принадлежит: International Business Machines Corp
Опубликовано: 04-07-2012
Автор(ы):
Принадлежит: International Business Machines Corp
Epitaxial source/drain contacts self-aligned to gates for deposited fet channels
Номер патента: WO2011157487A1. Автор: Vijay Narayanan,Paul Chang,Jeffrey Sleight,Josephine Chang. Владелец: Ibm United Kingdom Limited. Дата публикации: 2011-12-22.