Hot-wire method for depositing semiconductor material on a substrate and device for performing the method
Номер патента: US09589794B2
Опубликовано: 07-03-2017
Автор(ы): Andreas Schmalen, Friedhelm Finger, Johannes Wolff
Принадлежит: FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-03-2017
Автор(ы): Andreas Schmalen, Friedhelm Finger, Johannes Wolff
Принадлежит: FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Hot wire method for depositing semiconductor material on a substrate and apparatus for carrying out the method
Номер патента: DE102011018324A1. Автор: Andreas Schmalen,Friedhelm Finger,Johannes Wolff. Владелец: FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH. Дата публикации: 2012-10-25.