於基板上形成半導體材料膜層之方法及混合膜層形成裝置
Номер патента: TW201313936A
Опубликовано: 01-04-2013
Автор(ы): Wen-Chin Lee, Wen-Tsai Yen, Ying-Chen Chao, Yung-Sheng Chiu
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Mfg
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-04-2013
Автор(ы): Wen-Chin Lee, Wen-Tsai Yen, Ying-Chen Chao, Yung-Sheng Chiu
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Mfg
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for depositing layers of high quality semiconductor material
Номер патента: EP1110248A4. Автор: Subhendu Guha,Chi C Yang. Владелец: United Solar Systems Corp. Дата публикации: 2004-09-08.