System zum detektieren und überwachen eines risses für einen integrierten schaltkreis
Номер патента: DE102021104925A1
Опубликовано: 07-10-2021
Автор(ы): Bernhard J. Wunder, Dewei Xu, Dirk Breuer, Eric D. Hunt-Schroeder, Nicholas A. Polomoff
Принадлежит: GlobalFoundries US Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-10-2021
Автор(ы): Bernhard J. Wunder, Dewei Xu, Dirk Breuer, Eric D. Hunt-Schroeder, Nicholas A. Polomoff
Принадлежит: GlobalFoundries US Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Bearbeitungsverfahren für einen Wafer
Номер патента: DE102018202531A1. Автор: Noboru Takeda,Hiroshi Morikazu. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2018-08-23.