Vaporizable source material container and solid vaporization/supply system using the same
Номер патента: US20220090261A1
Опубликовано: 24-03-2022
Автор(ы): Atsushi Itsuki, Hiroshi Matsumoto
Принадлежит: Kojundo Kagaku Kenkyusho KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-03-2022
Автор(ы): Atsushi Itsuki, Hiroshi Matsumoto
Принадлежит: Kojundo Kagaku Kenkyusho KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Solid vaporization supply system for metal halide compounds for thin film formation
Номер патента: KR102475511B1. Автор: 히로시 마츠모토,아츠시 이츠키. Владелец: 가부시키가이샤 고준도가가쿠 겐큐쇼. Дата публикации: 2022-12-07.