REACTOR FOR APPLYING A COATING ON INTERNAL SURFACES OF COMPONENTS
Номер патента: US20190284692A1
Опубликовано: 19-09-2019
Автор(ы): BRITZ David Alexander, Chatterjee Sukti, Frankel Jonathan, Gangakhedkar Kaushal, ISHIKAWA David Masayuki, Melnik Yuriy, Narwankar Pravin K., SCUDDER Lance A.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-09-2019
Автор(ы): BRITZ David Alexander, Chatterjee Sukti, Frankel Jonathan, Gangakhedkar Kaushal, ISHIKAWA David Masayuki, Melnik Yuriy, Narwankar Pravin K., SCUDDER Lance A.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Reactor for applying a coating on internal surfaces of components
Номер патента: US20190284692A1. Автор: Pravin K. Narwankar,Yuriy Melnik,Lance A. Scudder,Sukti Chatterjee,David Masayuki Ishikawa,Jonathan Frankel,Kaushal Gangakhedkar,David Alexander Britz. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-09-19.