Filter Assembly for Providing Adjustable Spectral Capabilities in a Broadband Inspection System
Номер патента: US20180299324A1
Опубликовано: 18-10-2018
Автор(ы): Kumar Jagadeesh, Nesbitt Jeremy, Oram David C.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-10-2018
Автор(ы): Kumar Jagadeesh, Nesbitt Jeremy, Oram David C.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Filter assembly for providing adjustable spectral capabilities in a broadband inspection system
Номер патента: WO2018191444A1. Автор: Jeremy NESBITT,Jagadeesh KUMAR,David C. ORAM. Владелец: KLA-TENCOR CORPORATION. Дата публикации: 2018-10-18.