Method and apparatus for avoiding damage when analysing a sample surface with a scanning probe microscope
Номер патента: US20170261532A1
Опубликовано: 14-09-2017
Автор(ы): Christof Baur, Hans Hermann Pieper, Rainer Fettig
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-09-2017
Автор(ы): Christof Baur, Hans Hermann Pieper, Rainer Fettig
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for avoiding damage when analysing a sample surface with a scanning probe microscope
Номер патента: US09995764B2. Автор: Christof Baur,Hans Hermann Pieper,Rainer Fettig. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-06-12.