METHOD & APPARATUS FOR CONTROLLING AN INDUSTRIAL PROCESS
Номер патента: US20180307216A1
Опубликовано: 25-10-2018
Автор(ы): DECKERS David Frans Simon, YPMA Alexander
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-10-2018
Автор(ы): DECKERS David Frans Simon, YPMA Alexander
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and apparatus for obtaining diagnostic information relating to an industrial process
Номер патента: US11940740B2. Автор: Alexander Ypma,Jasper Menger,David Deckers,David Han,Irina Lyulina,Scott Anderson Middlebrooks,Richard Johannes Franciscus Van Haren,Adrianus Cornelis Matheus Koopman,Jochem Sebastiaan WILDENBERG. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-26.