用于获得与工业过程有关的诊断信息的方法和设备
Номер патента: CN105765461A
Опубликовано: 13-07-2016
Автор(ы): A·伊普玛, A·库普曼, I·里尤利纳, J·文登伯格, J·门格尔, S·米德尔布鲁克斯, 大卫·德克斯, 大卫·汉, 理查德·范哈伦
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-07-2016
Автор(ы): A·伊普玛, A·库普曼, I·里尤利纳, J·文登伯格, J·门格尔, S·米德尔布鲁克斯, 大卫·德克斯, 大卫·汉, 理查德·范哈伦
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Illuminating method and illuminating apparatus for carrying out the same, and projection exposure method and projection exposure apparatus for carrying out the same
Номер патента: US5016149A. Автор: Minoru Tanaka,Yoshitada Oshida,Tetsuzo Tanimoto,Yasuhiro Yoshitake. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1991-05-14.