METHOD OF MAKING LOW RESISTIVITY TUNGSTEN SPUTTER TARGETS AND TARGETS MADE THEREBY
Номер патента: US20180312960A1
Опубликовано: 01-11-2018
Автор(ы): Del Rio Eduardo, Ivanov Eugene Y.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-11-2018
Автор(ы): Del Rio Eduardo, Ivanov Eugene Y.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of renewal of the articles made out of the refractory metals
Номер патента: RU2304633C2. Автор: Прабхат КУМАР,Пол ЭЙМОН,Питер Р. ДЖЕПСОН,Хеннинг УЛЕНХУТ,Ховард В. ГОЛДБЕРГ. Владелец: Х.Ц ШТАРК, Инк. Дата публикации: 2007-08-20.