Extended life sputter target
Номер патента: WO2005026406A1
Опубликовано: 24-03-2005
Автор(ы): Holger J. Koenigsmann, Paul S. Gilman, Rene Perrot, Thomas J. Hunt
Принадлежит: Praxair S. T. Technology, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-03-2005
Автор(ы): Holger J. Koenigsmann, Paul S. Gilman, Rene Perrot, Thomas J. Hunt
Принадлежит: Praxair S. T. Technology, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Extended life sputter target
Номер патента: SG149008A1. Автор: Thomas J Hunt,Rene Perrot,Paul S Gilman,Holger J Koenigsmann. Владелец: Praxair Technology Inc. Дата публикации: 2009-01-29.