Sputtering target and method/apparatus for cooling the target
Номер патента: US7560011B2
Опубликовано: 14-07-2009
Автор(ы): Armin Schmidt, Gerald Janicke, Hendryk Richert, Roland Weidl, Uwe Kriltz
Принадлежит: Guardian Industries Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-07-2009
Автор(ы): Armin Schmidt, Gerald Janicke, Hendryk Richert, Roland Weidl, Uwe Kriltz
Принадлежит: Guardian Industries Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Sputtering target and method/apparatus for cooling the target
Номер патента: US20070089982A1. Автор: Uwe Kriltz,Hendryk Richert,Patrick Wieland,Armin Schmidt,Gerald Janicke,Roland Weidl,Bernd Gruenler,Hans-Jurgen Tiller. Владелец: Guardian Industries Corp. Дата публикации: 2007-04-26.