Automated showerhead tilt adjustment
Номер патента: US20230272533A1
Опубликовано: 31-08-2023
Автор(ы): Bin Luo, Bryan Anthony Cmelak, Jacob Lee Hiester, John Wiltse, Sam Jafarian Tehrani
Принадлежит: Lam Research Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-08-2023
Автор(ы): Bin Luo, Bryan Anthony Cmelak, Jacob Lee Hiester, John Wiltse, Sam Jafarian Tehrani
Принадлежит: Lam Research Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Showerhead tilt mechanism
Номер патента: US20190032214A1. Автор: Bin Luo,Timothy Scott Thomas,Damien Slevin,Dave Kamp. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2019-01-31.