ACTUATOR TO ADJUST DYNAMICALLY SHOWERHEAD TILT IN A SEMICONDUCTOR- PROCESSING APPARATUS
Номер патента: US20200181776A1
Опубликовано: 11-06-2020
Автор(ы): Wiltse John
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-06-2020
Автор(ы): Wiltse John
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatuses for uniform fluid delivery in a multi-station semiconductor processing chamber
Номер патента: US20240222151A1. Автор: Michael Philip Roberts,Joseph R. Abel,Douglas Walter Agnew,Eli Jeon,Daniel BOATRIGHT,Arun Anandhan Duraisamy,William Laurence McDaniel. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-07-04.