Process stop loss reduction system through rapid replacement of apparatus for trapping of reaction by-product for semiconductor process
Номер патента: US20240186154A1
Опубликовано: 06-06-2024
Автор(ы): In Hwan Kim, In Mun Hwang, Sung Won Yoon, Yeon Ju Lee
Принадлежит: Milaebo Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-06-2024
Автор(ы): In Hwan Kim, In Mun Hwang, Sung Won Yoon, Yeon Ju Lee
Принадлежит: Milaebo Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Gas saver for semiconductor manufacturing
Номер патента: WO2008020715A1. Автор: Jong-Ha Park. Владелец: Jong-Ha Park. Дата публикации: 2008-02-21.