APPARATUS AND METHODS OF INSPECTING CERAMIC HONEYCOMB BODIES
Номер патента: US20170336332A1
Опубликовано: 23-11-2017
Автор(ы): Stanford Alan Russell, Treacy Eric Daniel, Wang Lei
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-11-2017
Автор(ы): Stanford Alan Russell, Treacy Eric Daniel, Wang Lei
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Optical reticle substrate inspection apparatus and beam scanning method of the same
Номер патента: US20020093719A1. Автор: Motonari Tateno. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2002-07-18.