System and Method for Simultaneous Detection of Secondary Electrons and Light in a Charged Particle Beam System
Номер патента: US20150369737A1
Опубликовано: 24-12-2015
Автор(ы): Parker William, Utlaut Mark W.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-12-2015
Автор(ы): Parker William, Utlaut Mark W.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Detecting backscattered electrons in a multi-beam charged particle column
Номер патента: US20210341398A1. Автор: Alon Litman,Jacob Levin. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2021-11-04.