CHEMICAL DEPOSITION RAW MATERIAL INCLUDING IRIDIUM COMPLEX AND CHEMICAL DEPOSITION METHOD USING THE CHEMICAL DEPOSITION RAW MATERIAL
Номер патента: US20190367545A1
Опубликовано: 05-12-2019
Автор(ы): HARADA Ryosuke, SHIGETOMI Toshiyuki, SUZUKI Kazuharu
Принадлежит: TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-12-2019
Автор(ы): HARADA Ryosuke, SHIGETOMI Toshiyuki, SUZUKI Kazuharu
Принадлежит: TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Organoruthenium compound for chemical deposition and chemical deposition process using the organoruthenium compound
Номер патента: US20110318488A1. Автор: Masayuki Saito,Kazuharu Suzuki,Shunichi Nabeya. Владелец: Tanaka Kikinzoku Kogyo KK. Дата публикации: 2011-12-29.