Six degree of freedom control of planar motors
Номер патента: US20030085676A1
Опубликовано: 08-05-2003
Автор(ы): Michael Binnard
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-05-2003
Автор(ы): Michael Binnard
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Magnetic levitation planar motor workbench having double-layer winding of coarse and fine drive
Номер патента: US12149143B2. Автор: Kai Liu,Xuedong Chen,Lizhan Zeng. Владелец: HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2024-11-19.