Method of forming molybdenum silicide
Номер патента: US20240218505A1
Опубликовано: 04-07-2024
Автор(ы): Chiyu Zhu, Elina Färm, Jan Willem Maes, Jiyeon Kim, Petri Raisanen, Saima Ali, Sang Ho Yu, Sukanya Datta, YoungChol Byun
Принадлежит: ASM IP Holding BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-07-2024
Автор(ы): Chiyu Zhu, Elina Färm, Jan Willem Maes, Jiyeon Kim, Petri Raisanen, Saima Ali, Sang Ho Yu, Sukanya Datta, YoungChol Byun
Принадлежит: ASM IP Holding BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of forming chalcogenide thin film
Номер патента: US20110027976A1. Автор: Jung-Wook Lee,Dong-Ho You,Ki-hoon Lee. Владелец: IPS Ltd. Дата публикации: 2011-02-03.