METHOD FOR FORMING Ge-Sb-Te FILM AND STORAGE MEDIUM
Номер патента: US20120108005A1
Опубликовано: 03-05-2012
Автор(ы): Susumu Arima, Yumiko Kawano
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-05-2012
Автор(ы): Susumu Arima, Yumiko Kawano
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for forming Ge-Sb-Te film and storage medium
Номер патента: US9187822B2. Автор: Yumiko Kawano,Susumu Arima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-11-17.