매엽식 웨이퍼 세정 장치 및 세정 방법
Номер патента: KR100841995B1
Опубликовано: 27-06-2008
Автор(ы): 김인정, 배소익, 이건호, 최은석
Принадлежит: 주식회사 실트론
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-06-2008
Автор(ы): 김인정, 배소익, 이건호, 최은석
Принадлежит: 주식회사 실트론
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer cleaning system and method of cleaning a wafer using a wafer cleaning system
Номер патента: TWI576170B. Автор: 廖茂成,葛翔翔,孫鍾仁,曾維揚. Владелец: 台灣積體電路製造股份有限公司. Дата публикации: 2017-04-01.