Pre-coated shield for use in vhf-rf pvd chambers
Номер патента: EP3380643A4
Опубликовано: 14-08-2019
Автор(ы): Donny Young, Jianxin Lei, Wenting Hou, William M. Lu, Zhendong Liu
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-08-2019
Автор(ы): Donny Young, Jianxin Lei, Wenting Hou, William M. Lu, Zhendong Liu
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Pre-coated shield for use in vhf-rf pvd chambers
Номер патента: SG11201804420UA. Автор: Zhendong Liu,Jianxin Lei,Donny Young,Wenting Hou,William M Lu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-06-28.