Method for improved semiconductor processing equipment tool pedestal/pad vibration isolation and reduction
Номер патента: WO2018184033A1
Опубликовано: 04-10-2018
Автор(ы): Suk K. Kim-Whitty
Принадлежит: SK COMMERCIAL CONSTRUCTION, INC.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-10-2018
Автор(ы): Suk K. Kim-Whitty
Принадлежит: SK COMMERCIAL CONSTRUCTION, INC.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for improved semiconductor processing equipment tool pedestal / pad vibration isolation and reduction
Номер патента: US20180283486A1. Автор: Suk K. Kim-Whitty. Владелец: Sk Commercial Construction Inc. Дата публикации: 2018-10-04.