Method and apparatus for deposition of biaxially oriented textured coatings
Номер патента: RU2224050C2
Опубликовано: 20-02-2004
Автор(ы): ГРИЗ Роже ДЕ, Юрген ДЕНЮЛЬ
Принадлежит: Н.В.Бекарт С.А.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-02-2004
Автор(ы): ГРИЗ Роже ДЕ, Юрген ДЕНЮЛЬ
Принадлежит: Н.В.Бекарт С.А.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for physical-vapor deposition of material layers
Номер патента: US5354443A. Автор: Mehrdad M. Moslehi. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1994-10-11.