Interferometer and method of calibrating the interferometer
Номер патента: US20060250618A1
Опубликовано: 09-11-2006
Автор(ы): David Sesko, Kazuhiko Kawasaki, Yoshimasa Suzuki
Принадлежит: Mitutoyo Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-11-2006
Автор(ы): David Sesko, Kazuhiko Kawasaki, Yoshimasa Suzuki
Принадлежит: Mitutoyo Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Coherence grid -- interferometer and method for a spatially resolved optic measurement of the surface geometry of an object
Номер патента: US20130094028A1. Автор: Christian Rembe,Sebastian Boedecker,Markus Grittmann. Владелец: POLYTEC GMBH. Дата публикации: 2013-04-18.