Vorrichtung zum zusammenfügen von substraten
Номер патента: EP1371060B1
Опубликовано: 23-02-2005
Автор(ы): Alexander Hupp, Frank Michels, Roland Wagner, Ulrich Speer
Принадлежит: Steag Hamatech AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-02-2005
Автор(ы): Alexander Hupp, Frank Michels, Roland Wagner, Ulrich Speer
Принадлежит: Steag Hamatech AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Vorrichtung zum zusammenfügen von substraten
Номер патента: WO2002077985A1. Автор: Roland Wagner,Frank Michels,Ulrich Speer,Alexander Hupp. Владелец: Steag Hamatech AG. Дата публикации: 2002-10-03.