Motion sensor integrated nano-probe n/mems apparatus, method, and applications
Номер патента: US20190018039A1
Опубликовано: 17-01-2019
Автор(ы): Amit Lal, Kwame Amponsah
Принадлежит: CORNELL UNIVERSITY
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-01-2019
Автор(ы): Amit Lal, Kwame Amponsah
Принадлежит: CORNELL UNIVERSITY
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Motion sensor integrated nano-probe n/mems apparatus, method, and applications
Номер патента: US20190018039A1. Автор: Amit Lal,Kwame Amponsah. Владелец: CORNELL UNIVERSITY. Дата публикации: 2019-01-17.