Vibration damping and resonance reduction for ion pump
Номер патента: WO2021156387A1
Опубликовано: 12-08-2021
Автор(ы): Chenxi FU, Kuo-Feng Tseng, LONG DI, Lucas KUINDERSMA, Peter Paul HEMPENIUS, Ying Luo, Yu Liu
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-08-2021
Автор(ы): Chenxi FU, Kuo-Feng Tseng, LONG DI, Lucas KUINDERSMA, Peter Paul HEMPENIUS, Ying Luo, Yu Liu
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Vibration damping and resonance reduction for ion pump
Номер патента: US20230114067A1. Автор: Yu Liu,LONG DI,Peter Paul HEMPENIUS,Lucas KUINDERSMA,Ying Luo,Kuo-Feng Tseng,Chenxi FU. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-04-13.